微波等离子体去胶机 IoN Wave 10详细介绍

PVA-TePla微波等离子体去胶机（整机进口），性能稳定，去胶均匀。

IoN Wave 10 等离子体去胶机是PVA TePla 在微波等离子体处理工艺中的***产品。该批次式晶圆灰化设备成本低廉、尺寸适用、性能***。

IoN Wave 10 使用***的、性能***组件和软件，可对工艺参数进行***控制。其工艺监测和数据采集软件可实现最严格的质量控制。

IoN Wave 10 占地面积小，安装维护简单。依靠微波等离子体技术，该设备在提供极高的光刻胶灰化速度的同时，程度较低了产品暴露在静电中风险。

典型应用：

去除光刻胶 Photo-resist stripping 

去除残胶 Wafer descum

晶圆和衬底的清洁 Wafer and substrate cleaning

su-8灰化 Su-8 ashing

氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 Etching of silicon nitride, pi, etc.

刻蚀钝化层 Etching of passivation layers

逆向分析/失效分析中的器件开封 Device decapsulation for failure analysis

微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis

过滤器和薄膜的清洁 Cleaning of filters and membranes

规格参数：

2.45GHz风冷微波电源（0～600w可调），

石英或陶瓷腔体，

防腐蚀不锈钢MFC,

多至6路气体，

兼容8英寸及以下晶圆

PC 工控机控制，运行数据自动存储；分级控制权限，防止操作

图形化触控屏界面，运行状态图形化实时显示。

自动/手动随意切换

可选配法拉第桶

可选配温控系统

可选配压力控制系统

外形尺寸：775×749×781 mm 

认证：

CE 认证

EN 61010

EN 61326

Semi E95

ISO 9001